| 发明名称 | 一种提高半导体制造业废气净化效率的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种提高半导体制造业废气净化效率的方法，主要是在废气处理槽内的废气出口端强制喷注供给热空气，该热空气在出口端具有最佳热温度，直接将废气中的有害物质彻底净化，以提高半导体制造业废气的净化效率。 | ||
| 申请公布号 | CN1268416C | 申请公布日期 | 2006.08.09 |
| 申请号 | CN03120791.X | 申请日期 | 2003.03.19 |
| 申请人 | 东服企业有限公司 | 发明人 | 冯五良 |
| 分类号 | B01D53/74(2006.01) | 主分类号 | B01D53/74(2006.01) |
| 代理机构 | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 孙皓晨 |
| 主权项 | 1、一种提高半导体制造业废气净化效率的方法，包括在废气处理槽的废气出口端强制喷注供给热空气，该热空气直接喷袭自废气出口端排入废气处理槽内的废气中，用以热分解废气中有害物质。 | ||
| 地址 | 中国台湾 | ||