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发明名称 Cleaning Apparatus using plasma generating device
摘要
申请公布号 KR100603434(B1) 申请公布日期 2006.07.20
申请号 KR20040116434 申请日期 2004.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;B08B7/00;H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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