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发明名称 PROCESSING APPARATUS, MANUFACTURING APPARATUS, PROCESSING METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICES
摘要
申请公布号 KR100600682(B1) 申请公布日期 2006.07.13
申请号 KR20040047384 申请日期 2004.06.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/32;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/51;H01L29/78 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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