发明名称 DEPOSITION SYSTEM USING NOISE CANCELLER AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060080682(A) 申请公布日期 2006.07.11
申请号 KR20050001087 申请日期 2005.01.06
申请人 SAMSUNG SDI CO., LTD. 发明人 HWANG, MIN JEONG
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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