| 摘要 |
本发明提供一种具有8片反射镜，且使第1面之缩小影像形成于第2面上之投影光学系统。本发明之投影光学系统具备有用以形成第1面之中间影像之第1反射成像光学系统(G1)，以及用以使中间影像之影像形成于第2面上之第2反射成像光学系统(G2)。第1反射成像光学系统，自第1面侧按照光入射顺序，依次含有第1反射镜(M1)、第2反射镜(M2)、第3反射镜(M3)、以及第4反射镜(M4)。第2反射成像光学系统，自第1面侧按照光入射顺序，依次含有第5反射镜(M5)、第6反射镜(M6)、第7反射镜(M7)、以及第8反射镜(M8)。且8片上述反射镜中至少一个反射面由球面构成。 |
