MICROMECHANICAL CAPACITIVE SENSOR ELEMENT

摘要

Die Erfindung beschreibt ein Herstellungsverfahren zur Erzeugung eines mikromechanischen Sensorelements, welches in monolithisch integrierbarer Bauweise erzeugt werden kann und eine kapazitive Erfassung einer physikalischen Größe aufweist. Neben dem Herstellungsverfahren wird ebenfalls eine mikromechanische Vorrichtung beschrieben, die ein derartiges Sensorelement enthält, wie beispielsweise einen Drucksensor oder einen Beschleunigungssensor.