发明名称 |
用于装配半导体芯片的拾取工具 |
摘要 |
对于一种带有由可弹性变形材料制成的吸气机构(4)的拾取工具(1),用于拾取半导体芯片(2)的表面(6)被加工成凸面。在放置半导体芯片(2)到已经装配好的半导体芯片(14)上时,半导体芯片(2)的中心首先压紧。在逐步形成的压力作用下凸面(6)逐渐变形,直到凸面和拾取的半导体芯片(2)平直为止。压力是从吸气机构(4)的中心向外逐步形成。通过这个过程,半导体芯片(2)被碾压到下面的半导体芯片(14)上,其中空气可以不断地溢出。 |
申请公布号 |
CN1260791C |
申请公布日期 |
2006.06.21 |
申请号 |
CN02157568.1 |
申请日期 |
2002.12.20 |
申请人 |
ESEC贸易公司 |
发明人 |
盖多·赫吉里;罗尔夫·赫韦勒;丹尼尔·施内特扎勒 |
分类号 |
H01L21/50(2006.01);H05K13/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/50(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
王永刚 |
主权项 |
1、用于装配半导体芯片的拾取工具(1),包括轴(3),和与所述轴(3)连结在一起的吸气机构(4),吸气机构(4)由可弹性变形材料制成并包含用于拾取半导体芯片(2)的表面(6),所述表面(6)在未承载时为凸面,并且在放置半导体芯片(2)时,所述表面(6)在压力下变形为平面形状。 |
地址 |
瑞士卡姆 |