发明名称 光活性化合物
摘要 本发明涉及可用于配制光刻胶组合物的新型光活性化合物。
申请公布号 CN1791573A 申请公布日期 2006.06.21
申请号 CN200480013376.0 申请日期 2004.05.07
申请人 AZ电子材料美国公司 发明人 M·D·拉曼;F·M·霍利亨
分类号 C07C381/12(2006.01);G03F7/004(2006.01) 主分类号 C07C381/12(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 刘明海
主权项 1.下式化合物Y-Ar其中Ar选自萘基,或蒽基;Y选自其中W选自和其中R1A,R1B,R1C,R2A,R2B,R2C,R2D,R3A,R3B,R3C,R3D,R4A,R4B,R4C,R4D,R5A,R5B和R5C,分别独立地选自Z,氢,任选包含一个或多个O原子的C1-20直链或支链烷基链,C5-50单环,双环,或三环状烷基,C5-50环状烷基羰基,C5-50芳基,C5-50 芳烷基,芳基羰基亚甲基,C1-20直链或支链烷氧基链,硝基,氰基,tresyl,或羟基;(i)R1D或R5D之一是硝基,且另一个选自氢,任选包含一个或多个O原子的C1-20直链或支链烷基链,C5-50单环,双环,或三环状烷基,C5-50环状烷基羰基,C5-50芳基,C5-50芳烷基,芳基羰基亚甲基,氰基,或羟基,或(ii)R1D和R5D两者都是硝基;R6和R7分别独立地选自任选包含一个或多个O原子的C1-20直链或支链烷基链,C5-50单环,双环,或三环状烷基,C5-50环状烷基羰基,C5-50芳基,C5-50芳烷基,芳基羰基亚甲基,硝基,氰基,或羟基,或R6和R7与它们所连接的S原子一起形成任选包含一个或多个O原子的5-,6-,或7-元饱和或不饱和环;T是直接键,任选包含一个或多个O原子的二价C1-20直链或支链烷基,二价C5-50芳基,二价C5-50芳烷基,或二价C5-50单环,双环或三环状烷基;Z是-(V)j-(C(X11)(X12))n-O-C(=O)-R8,其中(i)X11或X12之一是包含至少一个氟原子的C1-20直链或支链烷基链,且另一个是氢,卤素,或C1-20直链或支链烷基链,或(ii)X11和X12两者都是包含至少一个氟原子的C1-20直链或支链烷基链;V是键接基团,选自直接键,任选包含一个或多个O原子的二价C1-20直链或支链烷基,二价C5-50芳基,二价C5-50芳烷基,或二价C5-50单环,双环或三环状烷基;X2是氢,卤素,或任选包含一个或多个O原子的C1-20直链或支链烷基链;R8是任选包含一个或多个O原子的C1-20直链或支链烷基链,C5-50单环,双环,或三环状烷基,或C5-50芳基;X3是氢,C1-20直链或支链烷基链,卤素,氰基,或-C(=O)-R50,其中R50选自任选包含一个或多个O原子的C1-20直链或支链烷基链或-O-R51,其中R51是氢或C1-20直链或支链烷基链;j是0至10;m是0至10;和n是0至10,所述任选包含一个或多个O原子的C1-20直链或支链烷基链,C1-20直链或支链烷基链,C1-20直链或支链烷氧基链,C5-50单环,双环,或三环状烷基,C5-50环状烷基羰基,C5-50芳烷基,C5-50芳基,萘基,蒽基,任选包含一个或多个O原子的5-,6-,或7-元饱和或不饱和环,或芳基羰基亚甲基是未取代的或被一个或多个选自以下的基团取代:Z,卤素,C1-20烷基,C3-20环状烷基,C1-20烷氧基,C3-20环状烷氧基,二C1-20烷基氨基,二环二C1-20烷基氨基,羟基,氰基,硝基,tresyl,氧代,芳基,芳烷基,氧原子,CF3SO3,芳基氧基,芳基硫代,和具有通式(II)至(VI)的基团:其中R10和R11分别独立地表示氢原子,任选包含一个或多个O原子的C1-20直链或支链烷基链,或C5-50单环,双环,或三环状烷基,或R10和R11 一起可表示亚烷基以形成五-或六-元环,R12表示任选包含一个或多个O原子的C1-20直链或支链烷基链,C5-50 单环,双环,或三环状烷基,或C5-50芳烷基,或R10和R12一起表示与插入的-C-O-基团一起形成五-或六-元环的亚烷基,所述环中的碳原子任选被氧原子取代,R13表示任选包含一个或多个O原子的C1-20直链或支链烷基链或C5-50 单环,双环,或三环状烷基,R14和R15分别独立地表示氢原子,任选包含一个或多个O原子的C1-20 直链或支链烷基链或C5-50单环,双环,或三环状烷基,R16表示任选包含一个或多个O原子的C1-20直链或支链烷基链,C5-50 单环,双环,或三环状烷基,C5-50芳基,或C5-50芳烷基,和R17表示任选包含一个或多个O原子的C1-20直链或支链烷基链,C5-50 单环,双环,或三环状烷基,C5-50芳基,C5-50芳烷基,基团-Si(R16)2R17,或基团-O-Si(R16)2R17,所述任选包含一个或多个O原子的C1-20直链或支链烷基链,C5-50单环,双环,或三环状烷基,C5-50芳基,和C5-50芳烷基是未取代的或被如上取代的;和A-是阴离子。
地址 美国新泽西