发明名称 感光性树脂组成物及使用其之感光性薄膜
摘要 本发明以提供一种对导体层具有优越密着性,可形成难以引起导体层的变色之光阻的感光性树脂组成物,及使用其之感光性薄膜为目的。依本发明之适合的感光性薄膜1具备支撑体11、树脂层12及保护薄膜13;树脂层12系由含有黏合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂及下述一般式(1)之苯并三唑衍生物的感光性树脂组成物所成者。094127375-p01.bmp〔式中,R^11及R^12为分别独立之氢原子或一价有机基,R^13为卤原子、烷基、环烷基、烯丙基、芳基、胺基、烷基胺基、硝基、氰基、巯基、烷基巯基、羟基、羟基烷基、羧基、羧基烷基、醯基、烷氧基或具有杂环之一价基。但,R^11及R^12之中的至少一方为,可含有其有取代基之芳基或含有碳数10以上的烃基之有机基〕。
申请公布号 TW200619846 申请公布日期 2006.06.16
申请号 TW094127375 申请日期 2005.08.11
申请人 日立化成工业股份有限公司 发明人 板垣胜俊;原直树;阿部卓治;味冈芳树
分类号 G03F7/032;G03F7/028;C07D249/18 主分类号 G03F7/032
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本