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发明名称 METHODS OF FORMING THIN FILM TRANSISTORS AND RELATED SYSTEMS
摘要
申请公布号 EP1665405(A1) 申请公布日期 2006.06.07
申请号 EP20040711273 申请日期 2004.02.13
申请人 HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P. 发明人 PETERSON, PAUL;STASIAK, JAMES
分类号 H01L21/336;H01L29/417;H01L29/786;H01L51/00;H01L51/30;H01L51/40;(IPC1-7):H01L51/05 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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