发明名称 test pattern of semiconductor device and test method using the same
摘要
申请公布号 KR100583960(B1) 申请公布日期 2006.05.26
申请号 KR20040004378 申请日期 2004.01.20
申请人 发明人
分类号 G01R31/02;H01L21/66;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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