发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060048411(A) 申请公布日期 2006.05.18
申请号 KR20050052166 申请日期 2005.06.17
申请人 SEIKO EPSON CORPORATION 发明人 TAKANO KATSUO
分类号 H01L27/108;H01L21/02;H01L21/8246;H01L27/04;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/76 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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