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发明名称
PLASMABEHANDLUNGSAPPARAT, DESSEN ELEKTRODENSTRUKTUR UND STRUKTUR DER BÜHNE
摘要
申请公布号
DE60026996(D1)
申请公布日期
2006.05.18
申请号
DE20006026996
申请日期
2000.06.20
申请人
TOKYO ELECTRON LTD.
发明人
KOMINO, MITSUAKI;SASAKI, YASUHARU;TSUBOI, KYO;AMANO, HIDEAKI
分类号
H01L21/205;C23C16/46;C23C16/505;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/683
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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