| 摘要 |
本发明系提供一种即使在长期使用过程中仍能够非常稳定且高度可靠操作的氟气产生器。氟气产生器30具有电解槽32，其系在阳极侧的第一气相区中产生主要成份为氟气的产物气体且在阴极侧的第二气相区中产生主要成份为氢气的副产物气体。提供第一与第二导管52、72以用于取出产物与副产物气体。第一气体流量控制阀56系提供在第一导管52中；此阀的开度孔系基于可直接或间接指示电解槽32中的状态的资讯以调整。第一滤筒54是配置在第一导管52中的第一阀门56的上游处。第一滤筒54系盛装可吸附混合在产物气体中的氟化氢与熔融盐飞雾的氟化钠颗粒。 |
