| 发明名称 | 电子装置制造室及其形成方法 | ||
| 摘要 | 在第一方面中，提供了一种第一多板室。该第一多板室包括：(1)板，具有第一侧面和第二侧面；(2)第一侧板，适合与板的第一侧面连接；以及(3)第二侧板，适合与板的第二侧面连接。当板、第一侧板和第二侧板连接在一起时，构成基本呈圆筒形的内室区域。还提供了许多其它内容。 | ||
| 申请公布号 | CN1767147A | 申请公布日期 | 2006.05.03 |
| 申请号 | CN200510103895.2 | 申请日期 | 2005.06.01 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | 发明人 | S·库利塔;W·T·布劳尼干;M·伊纳贾瓦 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/67(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 顾峻峰 |
| 主权项 | 1、一种多板室，包括：中央板，具有第一侧面和第二侧面；第一侧板，适合与中央板的第一侧面连接；且第二侧板，适合与中央板的第二侧面连接；其中，当中央板、第一侧板和第二侧板连接在一起时，构成基本呈圆筒状的内室区域。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||