激光光束质量M<SUP>2</SUP>因子实时检测仪

摘要

一种激光光束质量M²因子实时检测仪，构成包括同光路的依次的聚焦透镜、光栅组、光路调整器、CCD，该CCD的输出端通过信号线与计算机相连，所述的聚焦透镜的焦距为f，直径为D，所述的光栅组是由两块以正交方式紧贴放置的光栅组成的紧凑的光栅分光系统，该光栅分光系统可以将一束激光分成等光强的3×3条光束的光束组，所述的光路调整器包括由9个反射镜片组成的镜片阵列，该镜片阵列的9个反射镜片都有对应的微调螺钉，所述的聚焦透镜的零级衍射光束经由光栅组、光路调整器再到CCD的接受面的距离等于该聚焦透镜的焦距。本发明既能方便地对激光光束质量M²因子进行实时测量，系统结构又简单紧凑。

主权项

1、一种激光光束质量M2因子实时检测仪，其特征在于它包括依次的同光路的聚焦透镜(2)、光栅组(3)、光路调整器(5)、CCD(7)，该CCD(7)的输出端通过信号线(11)与计算机(12)相连，所述的聚焦透镜(2)的焦距为f，直径为D，所述的光栅组(3)是由两个以正交方式紧贴放置的光栅组成的紧凑的光栅分光系统，该光栅分光系统可以将一束激光分成等光强的3×3条光束的光束组(4)，所述的光路调整器(5)包括由9块反射镜片(511、512……519)组成的镜片阵列(51)，该镜片阵列(51)的9块反射镜片(511、512……519)都有对应的微调螺钉(52)，所述的聚焦透镜(2)的零级衍射光束经由光栅组(3)、光路调整器(5)再到CCD(7)的接受面(6)的距离等于该聚焦透镜(2)的焦距。