发明名称 MICRO THIN FILM STRUCTURE, MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM SWITCH USING THE SAME AND MANUFACTURING METHOD OF THEM
摘要
申请公布号 KR20060036976(A) 申请公布日期 2006.05.03
申请号 KR20040086056 申请日期 2004.10.27
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KWEON, SOON CHEOL;SHIN, HYUNG JAE;JEON, BYUNG HEE;HONG, SEOK KWAN;LEE, SANG HUN;KIM, CHE HEUNG
分类号 B81B3/00;B81B7/02 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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