发明名称 VERFAHREN ZUM ENTFERNEN VON TEILCHEN UND FLÜSSIGKEIT VON DER OBERFLÄCHE EINES SUBSTRATS
摘要
申请公布号 AT320661(T) 申请公布日期 2006.04.15
申请号 AT19980870201T 申请日期 1998.09.24
申请人 INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW 发明人 MERTENS, PAUL;MEURIS, MARK;HEYNS, MARC
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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