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发明名称
利用嫌斥性阻障部之弯液面分隔及围阻
摘要
在众实施例的其中之一之中,提供一种处理基板用的方法,包括在基板的表面之上产生一第一流体弯液面与一第二流体弯液面,其中第一流体弯液面系实质与第二流体弯液面相邻。弯液面亦包括藉由一阻障部而实质地分隔第一流体弯液面与第二流体弯液面。
申请公布号
TW200610042
申请公布日期
2006.03.16
申请号
TW094120948
申请日期
2005.06.23
申请人
兰姆研究公司
发明人
罗伯特J 欧唐尼尔;汤玛士W 安得森
分类号
H01L21/30;B05D1/00
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
许峻荣
主权项
地址
美国
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