| 发明名称 |
LITHOGRAPHIC METHOD FOR PRODUCING MICROCOMPONENTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1634125(A2) |
申请公布日期 |
2006.03.15 |
| 申请号 |
EP20040739268 |
申请日期 |
2004.05.19 |
| 申请人 |
SINGLETON, LAURENCE |
发明人 |
SINGLETON, LAURENCE;SCHEURER, JOERG |
| 分类号 |
B81C1/00;G03F7/00;G03F7/038;G03F7/11;G03F7/40;G03F7/42;(IPC1-7):G03F7/11 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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