二氧化锡延伸式闸极离子感测电晶体之制造方法以及相关之检测电路与读出电路

摘要

一种二氧化鍚延伸式闸极离子感测电晶体之制造方法，包括下列步骤，首先提供一基板。接着，以溶胶凝胶法形成一二氧化鍚薄膜于基板上。然后，将二氧化锡薄膜与一导线相连接。接下来，将基板、二氧化鍚薄膜、导线以环氧树脂包覆，但露出部分之二氧化鍚薄膜及部分之导线。最后，电性连接露出之导线与一金氧半场效电晶体之闸极。