发明名称 METHOD OF MANUFACTURING METAL LAYER OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100557647(B1) 申请公布日期 2006.02.24
申请号 KR20040101606 申请日期 2004.12.06
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, HYOUNG YOON
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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