| 发明名称 | 用于集成电路孔图的先进定向辅助部件 | ||
| 摘要 | 本发明是关于一种定向辅助部件，可以将平版印刷图案从掩膜转印到集成电路上。该定向辅助部件不会呈现禁用间隔现象，这样为一孔图案提供一宽的照相平版处理窗。 | ||
| 申请公布号 | CN1737680A | 申请公布日期 | 2006.02.22 |
| 申请号 | CN200510088878.6 | 申请日期 | 2005.07.29 |
| 申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 杨金成 |
| 分类号 | G03F1/14(2006.01);G03F1/00(2006.01);G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F1/14(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
| 主权项 | 1、一种集成电路平版印刷图案的光学转印方法，通过使用一种曝光工具将集成电路的平版印刷图案从掩膜转印到半导体基板上，其特征在于该方法包括：在掩膜上形成多个主部件，该些主部件对应于集成电路上的器件；和在掩膜上形成多个定向辅助部件，设置于上述的多个主部件的附近，该些多个定向辅助部件具有长度和宽度，该长度大于宽度，且该长度还向外突出并垂直于上述的多个主部件的边缘。 | ||
| 地址 | 中国台湾 | ||