发明名称 |
形成有机绝缘膜的组合物及用其形成有机绝缘膜图案的方法 |
摘要 |
在此公开了一种用于形成有机绝缘膜的光构图组合物,其中包含:(i)一种含有功能基的单体;(ii)一种在光照下产生酸或自由基的引发剂和(iii)一种有机或无机聚合物。更进一步公开了使用该组合物形成有机绝缘膜图案的方法。根据本发明,由于有机绝缘膜无需任何光致抗蚀剂处理就能简单地构图,故简化了整体的工序,最终能够通过全湿工艺制得具有高电荷迁移率的有机薄膜晶体管。 |
申请公布号 |
CN1734350A |
申请公布日期 |
2006.02.15 |
申请号 |
CN200510098086.7 |
申请日期 |
2005.06.15 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
慎重汉;李泰雨;具本原;李芳璘;李相润 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/16(2006.01);H01L51/05(2006.01);H01L51/30(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
张平元;赵仁临 |
主权项 |
1.一种用于形成有机绝缘膜的组合物,其中含有:(i)一种含功能基的单体,该单体是含有至少一种选自下式1所示的环氧基的化合物:<img file="A2005100980860002C1.GIF" wi="1472" he="366" />或者,是含有至少一种选自下式2所示的可自由基聚合基的化合物:<img file="A2005100980860002C2.GIF" wi="1447" he="416" />其中R是氢或甲基;(ii)一种在光照下产生酸或自由基的引发剂;和(iii)一种有机或无机聚合物。 |
地址 |
韩国京畿道 |