发明名称 RESIST COMPOSITION AND ORGANIC SOLVENT FOR REMOVING RESIST
摘要
申请公布号 EP1623278(A1) 申请公布日期 2006.02.08
申请号 EP20040729317 申请日期 2004.04.23
申请人 CLARIANT INTERNATIONAL LTD.;AZ ELECTRONIC MATERIALS (JAPAN) K.K. 发明人 KANG, DOEK-MAN;OH, SAE-TAE;KWON, HYUK-JOONG;NAITO, EIJI
分类号 G03F7/004;(IPC1-7):G03F7/42 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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