| 主权项 |
1.一种含矽共聚物电阻型薄膜湿敏元件,系包含:一微晶玻璃片基体,在微晶玻璃片基体表面上蒸发、光刻有多对叉指金电极,在该叉指金电极上连接有复数条引线,以及;一感湿膜,涂覆于微晶玻璃片基体和叉指金电极表面上。2.如申请专利范围第1项所述的含矽共聚物电阻型薄膜湿敏元件,其中,该微晶玻璃片基体表面上蒸发、光刻有8-16对叉指金电极。3.如申请专利范围第1项或第2项所述的含矽共聚物电阻型薄膜湿敏元件,其中,该微晶玻璃片基体表面上蒸发、光刻之多对对叉指金电极,该叉指金电极的叉指宽度为20-80um,叉指间隙为40-80um,每个叉指长度为2-3mm,电极尺寸为6mm5mm0.5mm。4.如申请专利范围第1项所述的含矽共聚物电阻型薄膜湿敏元件,其中,该感湿膜为含矽阳离子聚电解质共聚物。5.如申请专利范围第4项所述的含矽共聚物电阻型薄膜湿敏元件,其中,该含矽阳离子聚电解质共聚物之感湿膜为可聚合阳离子单体-甲基丙烯酸二甲氨基乙酯溴丁烷季胺盐与功能型矽氧烷单体-甲基丙烯氧丙基三甲氧基矽烷,按1-6:1摩尔比共聚而成。图式简单说明:图一为本创作所述的湿敏元件的立体外观结构图;图二为本创作所述的湿敏元件典型的响应特性图;图三为本创作所述的湿敏元件典型的湿滞特性图;图四为本创作所述的湿敏元件典型回应时间特性图。 |
