发明名称
摘要
申请公布号 BE689375(A) 申请公布日期 1967.05.08
申请号 BED689375 申请日期 1966.11.07
申请人 发明人
分类号 C23C16/06;C30B31/06;H01L21/00;H01L21/22;H01L29/74 主分类号 C23C16/06
代理机构 代理人
主权项
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