| 发明名称 |
Pattern-writing equipment |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2404782(B) |
申请公布日期 |
2005.12.07 |
| 申请号 |
GB20030018118 |
申请日期 |
2003.08.01 |
| 申请人 |
* LEICA MICROSYSTEMS LITHOGRAPHY LIMITED |
发明人 |
AMIN * JAVER;TIMOTHY * GROVES |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/10;H01J37/302;H01J37/304;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/10 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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