使用铝布线制造薄膜电晶体阵列面板之方法及使用相同方法之薄膜电晶体阵列面板

摘要

用于一较大平板显示器之多层布线系藉由在一包含选自由氧、氮以及碳所构成之组群中之至少一杂质的前驱气体存在下，将钼沈积于一基板上，以形成一钼层。一铝层系沈积于该钼层上。另一金属层可形成于该铝层上。该钼层系具有一具较佳(111)之定向的面心立方(FCC)晶格结构。