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发明名称 METHOD OF FORMING RESIST PATTERN, POSITIVE RESIST COMPOSITION, AND LAYERED PRODUCT
摘要
申请公布号 EP1583998(A3) 申请公布日期 2005.11.23
申请号 EP20030780673 申请日期 2003.12.01
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 发明人 HADA, HIDEO;MIYAIRI, MIWA;KUBOTA, NAOTAKA;IWAI, TAKESHI
分类号 G03F7/039;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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