真空装置

摘要

一种运用于半导体制造领域，可抑制耗电量的真空装置。此真空装置具备：真空容器10、11、12、13、14、15，设有气体导入口与气体排出口；至少1段的真空帮浦，将真空容器内部进行减压或保持在减压状态；及压缩机4c、5c、6c、7c、8c、9c，与真空帮浦中之最终段的真空帮浦4b、5b、6b、7b、8b、9b的排出埠相连接，可将输入侧进行减压。