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发明名称
摘要
申请公布号	JP3716854(B2)	申请公布日期	2005.11.16
申请号	JP20040183884	申请日期	2004.06.22
申请人		发明人
分类号	G02F1/1345;G02F1/13;G02F1/1333;G02F1/1337;G09F9/00;H01L21/3065;(IPC1-7):G02F1/133;G02F1/133	主分类号	G02F1/1345
代理机构		代理人
主权项
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