| 发明名称 |
Verfahren zum Polieren einer Vielzahl von Halbleiterscheiben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10354263(B4) |
申请公布日期 |
2005.11.03 |
| 申请号 |
DE20031054263 |
申请日期 |
2003.11.20 |
| 申请人 |
SILTRONIC AG |
发明人 |
ROETTGER, KLAUS;THURNER, MANFRED |
| 分类号 |
B24B37/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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