监控低温快速热退火制程的方法

摘要

本发明系揭露一种监控低温快速热退火制程的方法，其系利用于低温时非晶质矽层与金属层之接处表面会形成一对温度相当敏感之金属矽化物，再藉由量测金属矽化物的片电阻值来监控该低温快速热退火制程的稳定性。