图样光栅元件偏光板

摘要

本发明系有关于一种使用于微影的图样光栅偏光板，包含：可穿透紫外光的一基板，以及在该基板上图样化的一元件阵列，其中该些元件偏振化紫外光。该些元件可以被图样化以产生切线或辐射状偏振紫外光。