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发明名称
PROFILIERTES SPUTTERTARGET
摘要
申请公布号
DE69926634(D1)
申请公布日期
2005.09.15
申请号
DE19996026634
申请日期
1999.05.26
申请人
PRAXAIR S.T. TECHNOLOGY, INC.
发明人
GILMAN, S.;KOJIMA, TETSUYA;LO, CHI-FUNG;SHIMIZU, EIICHI;TAMURA, HIDEMASA;YOKOYAMA, NORIO
分类号
B23P13/04;C23C14/34;(IPC1-7):B23P13/00
主分类号
B23P13/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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