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发明名称 Verfahren und vorrichtung für die optische Inspektion von Objekten auf einem Substrat
摘要
申请公布号 DE69926659(D1) 申请公布日期 2005.09.15
申请号 DE19996026659 申请日期 1999.12.14
申请人 MYDATA AUTOMATION AB, BROMMA 发明人 BOSTROEM, GUNNAR;JOHANNESSON, MATTIAS;SANDGREN, SIMON;AHLEN, HANS
分类号 G01B11/02;G01B11/04;G01N21/89;G01N21/956;G06T1/00;H01L21/52;(IPC1-7):G01B11/04 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
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