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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Perfluorkohlenstoff
摘要
申请公布号 DE69829625(T2) 申请公布日期 2005.09.15
申请号 DE19986029625T 申请日期 1998.11.09
申请人 HITACHI, LTD.;HITACHI ENGINEERING CO., LTD.;HITACHI KYOWA ENGINEERING CO., LTD. 发明人 IRIE, KAZUYOSHI;MORI, TOSHIHIRO;YOKOYAMA, HISAO;TOMIYAMA, TAKAYUKI;TAKANO, TOSHIHIDE;TAMATA, SHIN;KANNO, SHUICHI
分类号 B01D53/86;(IPC1-7):B01D53/86;B01D53/14;H01L21/00 主分类号 B01D53/86
代理机构 代理人
主权项
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