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发明名称 Method of fabricating nano SOI wafer and nano SOI wafer fabricated by the same
摘要
申请公布号 KR100511656(B1) 申请公布日期 2005.09.07
申请号 KR20020047351 申请日期 2002.08.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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