发明名称 PLASMA PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 KR100510615(B1) 申请公布日期 2005.08.30
申请号 KR20000061240 申请日期 2000.10.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;G03F7/42;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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