检测半导体动态量传感器的方法

摘要

一种检测半导体动态量的方法，包括改变施加到周边固定部分(50)的电位(V4)，同时向固定电极(31、41)和可移动电极(24)施加预定电位(V1、V2)和(V3)，从而改变所述可移动电极(24)和所述支撑衬底(11)之间的电位差，并使所述可移动电极(24)在垂直于所述衬底表面的方向上位移。

主权项

1、一种检测半导体动态量传感器的方法，包括：沿着支撑衬底(11)的周边被固定和支撑在所述支撑衬底(11)上的半导体的周边固定部分(50)；在所述周边固定部分(50)的内侧被支撑在支撑衬底(11)上的半导体的可移动电极(24)，该可移动电极(24)可在水平方向上相对于所述衬底表面位移；以及在所述周边固定部分(50)的内侧被固定和支撑在支撑衬底(11)上的半导体的固定电极(31、41)，该固定电极(31、41)与所述可移动电极(24)相对；从而在施加动态量时，根据伴随着所述可移动电极(24)的位移的所述可移动电极(24)和所述固定电极(31、41)之间的距离的变化来检测所施加的动态量，该方法包括：改变施加到所述周边固定部分(50)的电位，同时向所述固定电极(31、41)和所述可移动电极(24)施加预定电位，从而改变所述可移动电极(24)和所述支撑衬底(11)之间的电位差，并使所述可移动电极(24)在垂直于所述衬底表面的方向上位移。