发明名称 SCANNING ILLUMINATION SYSTEM FOR OPTICAL MEASUREMENT OF CRACK, SCRATCH, MICRO DEFORMATION WITH TIME CONTROLLING
摘要
申请公布号 KR20050080063(A) 申请公布日期 2005.08.11
申请号 KR20050060990 申请日期 2005.07.07
申请人 YIM, NOH BIN 发明人 YIM, NOH BIN
分类号 G01N21/88;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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