具有隔膜的压力传感器

摘要

本发明涉及一种压力传感器，包括：壳体(11)；具有测量仪电阻器(5)的传感器芯片(1)；设置在所述测量仪电阻器(5)上的凸起部(2)；能够随压力变形的金属隔膜(17)；以及设置在所述金属隔膜(17)与所述凸起部(2)之间的载荷传输部件(18)。壳体(11)容纳传感器芯片(1)、凸起部(2)和载荷传输部件(18)。壳体(11)由金属隔膜(17)覆盖。以这样一种方式检测施加于隔膜(17)的压力，即，与压力相对应的载荷通过金属隔膜(17)、载荷传输部件(18)和凸起部(2)被施加到测量仪电阻器(5)，从而根据测量仪电阻器(5)的电阻变化测量压力。测量仪电阻器(5)大于凸起部(2)。

主权项

1.一种压力传感器，包括：具有带有开口的内部通孔的壳体(11)；传感器芯片(1)，具有设置在传感器芯片(1)的表面上的测量仪电阻器(5)；设置在所述测量仪电阻器(5)上的凸起部(2)；能够随压力变形的金属隔膜(17)；以及载荷传输部件(18)，所述载荷传输部件(18)设置在所述金属隔膜(17)与所述凸起部(2)之间、并且可随金属隔膜(17)的变形而移动，使得与施加到所述金属隔膜(17)的压力相对应的载荷通过所述载荷传输部件(18)被传输到所述凸起部(2)；其特征在于：所述壳体(11)将传感器芯片(1)、凸起部(2)和载荷传输部件(18)容纳在所述壳体(11)的内部通孔中；壳体(11)的开口由金属隔膜(17)覆盖；以这样一种方式检测施加于隔膜(17)的压力，即，与压力相对应的载荷通过金属隔膜(17)、载荷传输部件(18)和凸起部(2)被施加到测量仪电阻器(5)，从而使得测量仪电阻器(5)的电阻变化，并且根据测量仪电阻器(5)的电阻变化测量压力；以及从载荷传输部件侧看，测量仪电阻器(5)大于凸起部(2)，因此凸起部(2)由测量仪电阻器(5)覆盖。