发明名称 锗酸镓锶压电晶体的坩埚下降法生长方法
摘要 本发明涉及一种锗酸镓锶晶体的坩埚下降法生长方法,属于单晶生长领域。特征在于:初始原料按Sr<SUB>3</SUB>Ga<SUB>2</SUB>Ge<SUB>4</SUB>O<SUB>14</SUB>的分子式均匀混合,在1130-1180℃预烧8-12小时,通过固相反应以去除CO<SUB>2</SUB>;将取向确定的籽晶放在坩埚底部,再装入合成好的原料,然后将坩埚置于下降法生长炉中;在1400-1500℃以上熔化原料及籽晶顶部,生长界面温梯维持在30~40℃/cm,坩埚下降速度小于3mm/h。本方法温场稳定,工艺设备简单,操作方便,可将单只或多只坩埚放入下降炉内,同时生长不同形状和尺寸的单晶。
申请公布号 CN1213176C 申请公布日期 2005.08.03
申请号 CN03115421.2 申请日期 2003.02.14
申请人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明人 徐家跃;周娟;武安华;华王祥;林雅芳;陆宝亮;童健;范世
分类号 C30B15/00;C30B29/32 主分类号 C30B15/00
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 潘振甦
主权项 1.一种锗酸镓锶压电晶体的坩埚下降法生长方法,包括粉料的预烧合成、接种生长,其特征在于:(1)初始原料SrCO3、GeO2和Ga2O3,按Sr3Ga2Ge4O14分子式配料混合均匀;(2)混合粉料在1130-1180℃经8-12小时固相反应;(3)将晶种和合成料先后放入铂坩埚,并密封坩埚;(4)坩埚置于下降炉内接种、生长,炉温控制在1400-1500℃,生长界面温度梯度为30~40℃/cm,坩埚下降速率≤3mm/h。
地址 200050上海市定西路1295号