发明名称 PLANARIZING GATE MATERIAL TO IMPROVE GATE CRITICAL DIMENSION IN SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 EP1559137(A1) 申请公布日期 2005.08.03
申请号 EP20030774839 申请日期 2003.10.14
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 AHMED, SHIBLY, S.;TABERY, CYRUS, E.;WANG, HAIHONG;YU, BIN
分类号 H01L21/336;H01L29/423;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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