| 发明名称 |
AUTOMATISIERTE ÜBERWACHUNG DER DICKE EINER METALLSCHICHT WÄHREND DER AUFTRAGUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60111652(D1) |
申请公布日期 |
2005.07.28 |
| 申请号 |
DE2001611652 |
申请日期 |
2001.12.03 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES, INC. |
发明人 |
BESSER, R.;KING, L. |
| 分类号 |
G01B15/02;C23C14/54;G01N23/223;H01L21/66;(IPC1-7):G01N23/223 |
主分类号 |
G01B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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