| 发明名称 |
PROCESS FOR MANUFACTURING A GALLIUM RICH GALLIUM NITRIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1551768(A1) |
申请公布日期 |
2005.07.13 |
| 申请号 |
EP20030724623 |
申请日期 |
2003.05.19 |
| 申请人 |
MACQUARIE UNIVERSITY |
发明人 |
BUTCHER, KENNETH SCOTT A.;TANSLEY, TREVOR LIONEL;AFIFUDDIN |
| 分类号 |
C01B21/06;C01G15/00;C23C16/00;C23C16/02;C23C16/30;C23C16/34;C30B25/02;C30B25/10;C30B29/40;C30B33/02;H01L21/205;(IPC1-7):C01G15/00 |
主分类号 |
C01B21/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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