| 发明名称 |
光学镀膜装置 |
| 摘要 |
一种光学镀膜装置，其包括镀膜室、承载架、旋转马达及蒸镀源，该光学镀膜装置进一步包括挡流板，该挡流板可旋转地设置于承载架与蒸镀源之间，且挡流板的转速可调节。本实用新型的光学镀膜装置利用旋转式挡流机制，该光学镀膜装置的挡流板旋转速率可控制，可通过变化挡流板的转动速率，来改变其等效几何形状。本实用新型的光学镀膜装置由于不需要直接修正挡流板的几何形状，因此降低镀膜成本、镀膜程序简单、容易实现镀膜均匀性。 |
| 申请公布号 |
CN2706477Y |
申请公布日期 |
2005.06.29 |
| 申请号 |
CN200420046777.3 |
申请日期 |
2004.05.31 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
林志泉 |
| 分类号 |
C23C14/22 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种光学镀膜装置，其包括镀膜室、承载架、旋转马达及蒸镀源，其特征在于，该光学镀膜装置进一步包括挡流板，其中，挡流板可旋转地设置在承载架与蒸镀源之间。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
