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发明名称 METHOD FOR COATING METAL-MODULE OF A EQUIPMENT FABRICATING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR100496322(B1) 申请公布日期 2005.06.20
申请号 KR20030058762 申请日期 2003.08.25
申请人 发明人
分类号 C23C28/00;H01L21/288;(IPC1-7):C23C28/00 主分类号 C23C28/00
代理机构 代理人
主权项
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