奈米碳管探针制作系统

摘要

一种奈米碳管探针制作系统，适用于将一奈米碳管黏接至一探针之上，其包括一转接盘、一第一微动装置、一承载座、一第二微动装置以及一辅助黏接元件。该第一微动装置系移动地设置于该转接盘之上，且系依一第一方向及一第二方向以奈米精度移动。该承载座系设置于该第一微动装置之上，用以承载该探针。该第二微动装置系伸缩地设置于该转接盘之上，且系相对于该第一微动装置，该第二微动装置系依一第三方向以奈米精度伸缩。该辅助黏接元件系设置于该第二微动装置之上，且系相对于该承载座，该奈米碳管系经由该辅助黏接元件而黏接至该探针之上。